MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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应用篇|BIBO产品应用介绍

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  • 出品日時:2022-03-02 10:01
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【概要の説明】无“泄”可击,高手“净”界。

应用篇|BIBO产品应用介绍

【概要の説明】无“泄”可击,高手“净”界。

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  随着新冠疫情在全球范围内的爆发,高等级生物安全实验室、疫苗生产车间越来越受到全世界的重视,目前全国各地也在紧锣密鼓地建立新冠疫苗生产车间、P3实验室。

  高等级生物安全实验室由于其特殊性,一般采用负压系统,其内部排向大气的空气必须经过袋进袋出防护系统(BIBO),以保护室外的空气不受污染。

  BIBO生物安全防护过滤系统包括:生物安全密闭阀、上下游变径过渡段、原位灭菌系统、高效过滤段、袋进袋出安全更换系统、压差监测系统、原位扫描检漏系统。广泛应用于过滤生物安全实验室排风系统中的危险病原微生物气溶胶,保证所有高活性、高致病性病原微生物被有效拦截,通过配置的原位灭菌系统进行灭菌作业,以保证彻底杀灭病原微生物,配合袋进袋出安全更换系统,确保操作人员始终与过滤系统内部不接触,保证人员与环境的安全。

  BIBO特点:最大的特点是安装、更换、检测过滤器时均在安全袋保护下进行,过滤单元完全不与外界空气接触,从而保证了人员与环境的安全,使得更换过程方便快捷。

  BIBO检测:在标准配置的袋进袋出过滤器中,均有设置自动或手动扫描检测装置,可以方便随时检测过滤器的效率,确保其安全性。

  美埃将工业超洁净技术及经验引入生物制药行业,配备多条生产线,提供专业技术及100%的出厂检验,保证产品质量。美埃BIBO、生物安全密闭阀,已通过生物安全防护等级形式检验及消毒效果检验,获得了第三方CNAS、CMA机构认证的检验报告,从而保障实验室、生产车间及生物安全领域的人员健康、工艺流程安全、环境防控达标。

  美埃坚持服务至上的原则,凭借多元化产品,服务于众多500强药企,在各大生物研究所和知名医院领域内备受肯定与推崇,提供全方位解决方案以满足客户高质量需求。

  美埃助力改善生物制药企业生产环境和医疗卫生健康环境,建立科学、符合GMP规范的无菌药品生产环境和工艺,降低感染风险,追求卓越,无“泄”可击。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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