MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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美埃捷报连连 —— 成都中电熊猫项目再度打上“美埃烙印”!

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  • 出品日時:2017-05-31 11:07
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【概要の説明】2017年5月26日,美埃FFU成功中标成都中电熊猫显示科技有限公司第8.6代液晶面板显示器件(TFT-LCD)生产线项目,一举拿下接近40000套FFU的最大标段。

美埃捷报连连 —— 成都中电熊猫项目再度打上“美埃烙印”!

【概要の説明】2017年5月26日,美埃FFU成功中标成都中电熊猫显示科技有限公司第8.6代液晶面板显示器件(TFT-LCD)生产线项目,一举拿下接近40000套FFU的最大标段。

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  • 出品日時:2017-05-31 11:07
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  美埃喜中成都中电熊猫第8.6代显示屏

  生产线FFU项目最大标段

  2017年5月26日,美埃FFU成功中标成都中电熊猫显示科技有限公司第8.6代液晶面板显示器件(TFT-LCD)生产线项目,一举拿下接近40000套FFU的最大标段。

  

美埃(中国)环境科技股份有限公司

 

  成都中电熊猫作为全球先进的第8.6代TFT—LCD显示器件项目,项目计划总投资280亿元,占地面积约1021亩,总建筑面积近70万㎡,建设内容包括阵列(Array)、彩色滤光片(CF)、成盒(LCD/SC)、模组(LCM)生产线、净化厂房、配套动力设备、研发设施。项目建成后,将批量生产具有较强市场竞争力的高品质液晶面板及模组,也预示着大量“成都造”液晶面板将被运用到普通百姓使用的电脑、电视上,具有较高的技术含量和良好的经济社会效益。美埃凭借“高精尖强全”五大优势再度证明了在液晶面板行业洁净方案的领先优势。

  

美埃(中国)环境科技股份有限公司

 

  近年来,美埃为高端制造业的作出的贡献有目共睹。作为净化行业的领航者,从项目初期的节能方案的先进技术提供、产品稳定性的测试数据验证到售后服务的完整体系,各个环节均体现出欧盟级洁净室解决方案的优势。

  美埃FFU市场贡献率每年约15万台,美埃将不断打磨在高端制造业的净化方案,在未来,我们相信越来越多的“制造”将打上美埃的烙印!让美埃来为您保障生产,保证安全,保护未来!

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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