MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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案例篇 | 美埃为国产射频芯片领头羊提供服务

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  • 出品日時:2021-11-22 14:55
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【概要の説明】实现产品全生命期溯源管理,引领智能净化。

案例篇 | 美埃为国产射频芯片领头羊提供服务

【概要の説明】实现产品全生命期溯源管理,引领智能净化。

  • カテゴリ:应用案例
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  • 出品日時:2021-11-22 14:55
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  卓胜微作为我国射频前端领域企业,凭借研发创新能力、服务能力、良好的品牌形象等多方面优势,赢得了市场的高度认可,拥有较强的市场竞争力。目前,卓胜微已成为国内集成电路产业中射频前端领域业务较为完整、综合能力较强的企业之一。不仅如此,卓胜微的射频开关产品也相继被政府及行业评为“国家级制造业单项冠军产品”、“2020年第十五届‘中国芯’优秀市场表现产品”等称号。

  在射频前端领域,卓胜微的射频传导开关产品如移动通信传导开关、WiFi开关等以及射频低噪声放大器、射频滤波器、射频模组等,都广泛应用于智能手机等移动智能终端和网络设备上。在物联网领域,卓胜微的低功耗蓝牙微控制器芯片也都应用在智能家居、可穿戴设备上。

  在半导体关键核心技术和“卡脖子”领域,国内正在全力打造集成电路创新高地,而影响半导体生产的关键因素之一就是洁净的生产环境,洁净室环境将直接影响芯片制程工艺的良品率。

  美埃很荣幸为国产射频芯片领头羊的卓胜微电子生产车间供货风机过滤单元产品,当前射频器件芯片的制程工艺已发展至”纳米”级别,对制程环境要求极高,从进气端实现对洁净室持续输出洁净气流,通过高效/超高效过滤器与FFU箱体组合,提供稳定的洁净气流,通过气流的推出作用和稀释作用将室内污染物高效净化。FFU应用拥有核心专利技术,通过优化内部导流、减少内部涡流及阻力、提高风机工作效率,实现低噪音、高效率、低能耗运行,同时产品配备完善的控制系统,运行稳定,使用寿命长。整体是主动、强制、持续循环的净化过程,以达到维持洁净室内空气高度洁净的目的,提高制程良率。

  风机过滤单元

  高效/超高效过滤器

  美埃长期为行业知名品牌提供保障,如中芯国际供应FFU、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品,用于保障中芯国际系的历代产品线(包括中芯国际最先进的14nm和28nm制程)对空气洁净度的要求。同时,美埃为开发国内首台28nm光刻设备的上海微电子装备(集团)股份有限公司所需的光刻机机台内国际最高等级洁净环境(ISO Class 1 级)提供产品,亦已验收合格,助力国内光刻机事业。此外,美埃亦是INTEL、台积电、苹果、华为等国际著名厂商的合格供应商,为其提供空气净化产品。

  同时,美埃拥有专业的测试技术,可对产品进行检测与质量控制,实现产品全生命期溯源管理,引领智能净化。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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