MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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美埃完美护航华为松山湖基地

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  • 出品日時:2017-07-05 10:56
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【概要の説明】在东莞松山湖南部环湖路以北,一座坐拥无敌湖景的“欧式小城”已经诞生。这个建筑群无疑是松山湖“万绿丛中”的焦点。这便是科技企业华为崭新的“绿色新基地”。

美埃完美护航华为松山湖基地

【概要の説明】在东莞松山湖南部环湖路以北,一座坐拥无敌湖景的“欧式小城”已经诞生。这个建筑群无疑是松山湖“万绿丛中”的焦点。这便是科技企业华为崭新的“绿色新基地”。

  • カテゴリ:应用案例
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  • 出品日時:2017-07-05 10:56
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  在东莞松山湖南部环湖路以北,一座坐拥无敌湖景的“欧式小城”已经诞生。这个建筑群无疑是松山湖“万绿丛中”的焦点。这便是科技企业华为崭新的“绿色新基地”。

  

 

  新基地位于松山湖南区的松湖花海景区旁边,占地1900亩,总建筑面约126.7万平方米,总投资100亿元,项目于2017年5月竣工,将有3万研发人员聚集于此。

  

 

  为了应对目前室外较高的PM2.5风险,改善办公室室内空气品质,为员工创造一个更加安全高效的工作环境和办公体验,华为松山湖基地在建设初期就向美埃咨询控制室内PM2.5浓度,提高室内空气质量的解决方案。美埃应邀参与其中,经过美埃专业人员现场勘测、方案设计比对及细节优化,并凭借超强的产品品质及卓越的品牌实力,华为最终选择了美埃提供的集中空调系统解决方案,分标段全部中标,美埃承包基地所有的静电净化设备的供应。在大楼中央空调机组新风和回风系统中加装美埃的静电过滤设备,确保每一位员工,都可以呼吸到真正优质的好空气!这样的员工福利真赞哦!

  

 

  应华为的总体布局及指示,松山湖基地空调系统全部安装静电净化装置,以确保基地的室内空气质量达到欧洲标准。现今,美埃静电过滤器全部安装完毕并调试运行,其净化效果经检测也全部达到预期标准,美埃空气净化设备受到华为的再次肯定。

  

 

  美埃为您量身定制室内空气品质解决方案,通过其卓越的产品品质和完美的验收数据,让更多的企业所信任和青睐!

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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