MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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9月份新产品发布

  • 来源:
  • 出品日時:2021-09-28 17:35
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【概要の説明】

9月份新产品发布

【概要の説明】

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  • 出品日時:2021-09-28 17:35
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詳細

  产品名称:

高精度空调机 (TCC)

  产品特点:

  节省能源、高精度温控、移动方便、便于施工安装

  参数说明:

  处理风量:400~800m3/h

  机外静压:Max 500Pa

  温度控制精度:±0.1℃

  设定温度范围:20~26℃

  应用领域:

  应用于半导体、液晶、医疗、制药等行业。使用在光刻、液晶板温控、太阳能电池的评价、精密加工机、电子显微镜光谱测试、电子天秤等领域。

  产品名称:

  洁净工作台

  产品特点:

采用可正/负压切换设计,实现了一机多用,结构新颖;采用新型超薄风机,使得整机高度做到更薄;底架为可拆卸式拼装结构,安装方便,运输成本低。

  应用领域:

  可广泛应用于生物实验室、医疗卫生、生物制药等相关行业。

  产品名称:

  侧墙式BIBO

  产品特点:

  室内嵌入式设计,产品模块化安装;

  具备安全更换过滤器功能;

  安全性高,耐压可大于2500Pa;

  气密性佳,小时泄露率满足<0.25%

  应用领域:

  生物安全实验室、医院隔离房间、制药设备生物研究、遗传与生物技术实验室、动物疾病研究试验室、核工业领域。

  产品名称:

  220厚液槽型无隔板过滤器

  产品特点:

  无隔板设计以降低运行成本

  应用范围广,结构紧凑

  液槽设计,密封性更好

  高褶高滤芯增加有效过滤面积

  应用领域:

  应用于洁净室及其他对空气洁净度有严格要求的领域

  ◼ 制药厂房洁净室

  ◼ 化学和生物(CB)防护

  ◼ 医院隔离房间

  ◼ 制药设备

  产品名称:

  高容尘PTFE无隔板过滤器

  产品特点:

  优质滤材:聚四氟乙烯PTFE复合滤材,不易损坏

  高效稳定:过滤器依靠拦截和筛滤效应过滤颗粒物,过滤效果高效持久

  寿命持久:滤纸强度大,不易损坏;多层复合结构滤材提升过滤器的容尘量

  节能环保:阻力更低 ,降低洁净室的运行费用

  适用环境:过滤器的耐化学腐蚀性强,且挥发性气体极低

  密封牢靠:液槽密封,无接缝,避免安装泄漏风险

  应用领域:

  应用于洁净室及其他对空气洁净度有严格要求的领域

  ◼ 制药厂房洁净室

  ◼ 医院隔离房间

  ◼ 制药设备

  产品名称:

  回风口过滤器

  产品特点:

  -高效安全,效率可选F7,E10

  -压损低,节能环保

  -可定制尺寸,重量轻,节省空间

  -可选配抗菌功能

  应用领域:

  ◼ 医疗场合

  ◼ 商用建筑

  ◼ 民用住宅

 

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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住所:〒550-0002 大阪市西区江戸堀1丁目9番1肥後橋センタービル6F

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