MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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技术篇 | 地铁环境空气品质改善方案

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  • 出品日時:2021-09-18 11:23
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【概要の説明】美埃缔造看得见的空气净化,营造洁净健康的乘车环境。

技术篇 | 地铁环境空气品质改善方案

【概要の説明】美埃缔造看得见的空气净化,营造洁净健康的乘车环境。

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  随着交通拥堵问题的出现,公共交通已经成为越来越多人们的出行选择,在一些大城市,地铁是最受欢迎的交通方式,部分城市日平均客流量逐年增加,已经和我们的生活紧密联系在一起,每当早晚高峰期或是重大节假日前后,地铁就会全面开启“爆满模式”。地铁车厢内空气质量对人体产生的影响逐渐引起市民的广泛关注。

  资料显示,迄今为止,国内外的地铁、公交、火车上空气过滤系统比较单一。比如,德国火车上的空调系统,使用的是G4型空气过滤器。目前飞机上的过滤系统有了大的升级,四大航空公司所有的客机中都已配备高效空气过滤器(HEPA),可以更好地过滤空气中的污染物,甚至病菌。在疫情防控常态化的背景下,地铁车厢内的空气被更有效地净化是降低病菌病毒传播风险的一个关键因素。

  地铁空气质量现状

  环境与能源研究中心曾对北京十条地铁线的环境空气颗粒物PM2.5进行了监测。结果显示,地铁内浓度均值为150μg/m³,而同期北京室外环境颗粒物PM2.5浓度均值为86μg/m³。而且,无论是在采暖季还是非采暖季,与同时段室外空气相比较,地铁内的PM2.5浓度都更高。

  复旦大学公共卫生学院测试了同一时间段下上海市9条地铁线路(12个地下车站)的24套集中通风系统,包括送风系统中可吸入颗粒物和微生物等卫生学评价。通风空调系统反映的主要污染物是细菌、真菌问题。24套集中通风系统送风中:PM10、细菌总数、真菌总数合格率分别为96.9%、65.9%、65.2%;新风量合格率仅为10%。同济大学研究团队于2019年6-8月测评了上海地铁部分线路的空气质量。通过测评可知,工作日早、晚高峰地铁车厢内二氧化碳浓度上班高峰最高可达3874ppm左右,下班高峰最高可达2805ppm,是地铁环境限值标准1.9-2.6倍。

  美埃室内环境空气治理技术

  美埃将工业级超洁净技术应用到商用和民用领域。从进气到排气,从过滤单元配套到整机设备到系统集成,持续创新,以满足不断增长的空气洁净产品需求。可用于地铁系统的美埃产品主要有初中效过滤器、化学过滤器、静电过滤器、空气净化器、VOCs 治理设备等。通过对站台和车厢内空气的净化,建立全面的城市轨道交通空气净化体系,为乘客和工作人员提供健康舒适的环境。

美埃净化设备在站台和车厢内的应用

  站台中净化设备

  从上述研究数据,可以看出地铁内PM2.5的浓度较高,PM2.5的主要由车轮与轨道摩擦时产生的灰尘颗粒物和人员流动过程中产生,在通风不及时的情况下造成沉积。车厢内的新风主要来源于站台,所以降低站台中PM2.5的浓度对提高车厢内空气质量起着关键的作用。人流量较大的地方微生物浓度较高,主要是人体呼吸排出大量的污染物。针对较高的颗粒物和微生物浓度,可以使用大空间净化装置通过内部风机负压的工作模式,使得室内被污染的空气层层过滤,保证车厢始终维持为干净的空气。测试结果见下表,大空间净化装置原理图和实物图见下图。

  测试结果图

  大空间净化装置原理图

  大空间杀菌型净化机 E-Guard 9

  车厢内净化设备

  针对车厢内污染物浓度较高的情况,可以考虑在地铁内增加消毒机,原理图和实物图如下图所示,为了验证对环境的改善效果,通过在30m³的环境仓中发生一定量的污染物,车载空气消毒机放在其中,测试结果如下表,根据车厢体积可以推算出一节车厢安装3台车载空气消毒机,根据测试效果推算出车厢内PM2.5、TVOC和细菌浓度基本可以降低到标准要求,为车厢内营造健康舒适的环境。

  车厢内粒子浓度模拟数据

  总结:地铁内的空气质量是看不见的,但可以切实感受到,后疫情时代,公共交通工具的防疫措施和空气质量与每个人息息相关,美埃缔造看得见的空气净化,营造洁净健康的乘车环境。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

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過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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