近年来伴随着面板及半导体行业的飞速发展，洁净室及微环境设备对末端净化的需求量越来越大，要求也越来越高。其中，设备端风机过滤器单元EFU，近几年进入大家的视野。约五年前，大部分EFU都是随机台设备从国外进口，交期长、价格高，是它的弊端所在。美埃心系尖端净化设备的研发，多年来投入大量的人力物力，学习国际前沿技术，并结合项目需求自主创新。EFU设备已经完全实现了国产化，结合美埃健全的生产制造、卓越的产品性能、优质的技术支持，完善的售后服务体系，赢得了众多客户认可。

　　EFU现场安装图

　　EFU英文全称Equipment Fan Filter Unit，即设备端风机过滤器单元。与我们常见的FFU(Fan Filter Unit) 风机过滤器单元非常相似，那么两者之间有什么区别呢?

　　第一，适用场所不一样。FFU一般应用于厂务端，也就是安装在洁净室吊顶上的。而EFU/设备端风机过滤器单元，顾名思义，是安装于洁净室内的机台设备或微环境设备之上，如光刻机、STOCKER、LUL(INDEXER)、COATER、清洗机等。

　　第二，EFU和FFU的安装方式不一样。FFU一般是分体式设计，设备采用自重与过滤器及吊顶龙骨实现密封安装，通常的安装形式为水平安装。而EFU安装方式相对比较复杂，主要有水平安装和垂直安装两种形式，箱体与过滤器之间通常采用螺栓螺母固定连接成一体，EFU整机与机台之间采用专用安装支架和螺栓螺母固定，连接牢固。

　　除此以外，EFU设备的厚度尺寸、维护方式、控制系统、工作参数、材质要求等都与FFU有所区别。

　　EFU产品特点

　　系统解决方案将产品与服务有效融合，美埃不仅仅是EFU的生产厂商，也是EFU设计、安装、调试、验收等一条龙服务的系统集成供应商。

　　针对老旧的机台设备进行环境改善分析，对洁净系统进行升级改造，改善现有环境以符合工艺生产的需求，使老机台焕发生机，提高产品良率。

　　老旧机台改造升级的方案案例

　　美埃EFU气流仿真模拟图

　　部分控制系统案例

　　美埃是国内最早设计生产EFU的厂家之一，并广泛服务于行业知名面板及半导体工厂，如京东方、华星光电、惠科、天马、上海微电子等尊贵客户。

　　客户现场安装图

　　中国制造、中国科技争分夺秒，我们一直在行动!