MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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技术篇|无菌病房用洁净空气送风系统

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  • 出品日時:2021-08-13 11:05
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【概要の説明】美埃开发出的无菌病房用一对一自循环洁净空气送风系统净化装置。

技术篇|无菌病房用洁净空气送风系统

【概要の説明】美埃开发出的无菌病房用一对一自循环洁净空气送风系统净化装置。

  • カテゴリ:应用案例
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  • 出品日時:2021-08-13 11:05
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  据调查,因治疗恶性肿瘤、再生不良性贫血、放射线伤害等白血球数量减少的患者,免疫不全或因治疗接受免疫抑制剂的患者,以及患有严重烧伤或呼吸器官疾病的患者,可能会因感染而死亡。因此,在ICU(集中治疗室)病房中,有必要设置洁净无菌病房(层流护理室),为感染患者或者被感染患者服务。

  无菌病房(层流护理室)主要用于预防性隔离,并采用一对一自循环净化系统装置。考虑到病人会在有24小时甚至2—3个月的长时间居住, 因此需要保证无菌病房内的安静以及能够大风量的自循环送风。

  美埃在国内高端空气净化技术领域深耕多年,并在同济大学沈晋明教授和刘燕敏教授的指导下开发了无菌病房用一对一自循环洁净空气送风系统净化装置,因研发时专注气流均匀性与噪声两点,此装置具有良好的风速均匀性,安静低噪,百级洁净环境等优点。

  根据GB51039-2014《综合医院建筑设计规范》为依据我司开发的这款层流送风自循环净化系统,可使房间洁净度达到百级(ISO5)以上,采用独立的双风机并联,互为备用,24h运行,根据患者活动和休息的不同时段,送风设白天和夜间两档风速,送风面距地面2.5m时,白天送风速度不宜大于0.25m/s,噪音不大于45dB(A);夜间送风速度不宜大于0.15m/s,噪音不大于42dB(A)。风速均匀性小于24%。

  美埃无菌病房用送风系统的优点:

  1、易安装

  我司开发的自循环送风装置采用模块设计可以分段运输,可在室内现场装配。方便运输与安装。适用于病房新建,也可用于原有病房改造。

  2、大面积高洁净度

  采用上送风下回风的室内自循环方式,送风面积不小于6m²,空气经HEPA高效过滤器净化,达到ISO5百级的洁净环境。

  3、风速均匀

  测试送风风速均匀性小于国标规定值24%。

  4、低噪音

  采用特殊的消音处理,营造安静的休息休养区域,经反复测试白天和夜间噪音均符合国标要求。

  5、安全,可靠

  采用独立的双风机并联,互为备用,24h运行。

  空气层流无菌病房里的空气经过高效过滤器的过滤,可基本达到无菌的程度,并大程度避免免疫力低下患者受到病原菌感染,在此安全度过免疫功能低下期。

  在当前新冠疫情的特殊背景下,无菌病房用洁净空气送风系统可配合空调净化送风系统及回风口结构设计,转成专用单人组合病房,用于收治重症或易感染且同时患有经空气传播疾病的特殊患者,有效保护医患人员的健康。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

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過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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