MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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技术篇|手术室宽口低速送风装置

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  • 出品日時:2022-03-01 15:03
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【概要の説明】

技术篇|手术室宽口低速送风装置

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  手术室(operating room 英文简称o.r)是为病人提供手术及抢救的场所,是医院的感染控制的核心区域。根据GB50333-2013《医院洁净手术部建筑技术规范》的定义,洁净手术室用房的分级中传统手术室为4个级别,如下表所示:

  手术室的洁净级别与高效安全的手术室空气净化系统息息相关,空气净化系统既可以保证手术室的无菌环境,也可以防止人员交叉感染以及在保证手术成功上发挥重大作用,是手术室中不可缺少的关键配套系统。

  传统理论认为洁净手术室送风装置应有两大基本功能,一是将无尘无菌空气迅速置换手术区内所有污染空气,以确保手术部位洁净无菌;二是防止送风气流外侧不太干净的空气渗入手术区内。并且,手术室送风温湿度控制可以保障手术医生在舒适环境下进行手术。但由于传统手术室送风装置的送风是采用同一温度同一速度送出,难以提高送风气流的抗干扰能力,所以患者可能会出现低温症。

  美埃专注推动国内高端空气净化技术的发展,专业研发团队在同济大学沈晋明教授和刘燕敏教授的指导下,针对传统手术室送风净化装置的不足,开发出手术室专用的带宽口低速空气幕的异温异速送风系统。

  带宽口低速空气幕的异温异速送风系统是一种新型送风方式,送风装置两侧采用宽口低速空气幕保护中间主层流送风气流,由于采用异温异速的送风方式,除了满足无尘无菌的控制外,两侧采用宽口低速空气幕笼罩手术医生满足其舒适性需求,中间主层流送风气流覆盖患者,参与患者手术过程的体温管理,防止出现低温症。

  根据手术的需要,手术室宽口低速气幕送风装置的两侧气幕与主层流送风可由不同的尺寸、风速、温差组合而成。利用计算流体动力学CFD仿真手术室宽口低速送风装置不同组合的温度场,分析对手术人员及患者舒适性的影响。

  医生站位仿真纵截面图

  病人躺位仿真纵截面图

  医生和病人仿真水平截面

  手术室带宽口低速空气幕的异温异速送风系统可用于I-II级手术室内。增强了手术室洁净送风气流抗干扰力,保证了洁净无菌区域,同时满足医患的温湿度需求,是一项具有自主知识产权的技术。

  更重要的是,配合空调净化送风系统,带宽口低速空气幕的手术室异温异速送风系统可实现正负压切换,在当前新冠疫情的特殊背景下,可有效保护医患人员和环境安全。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

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過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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