MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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【专业洁净 选择美埃】美埃成功中标华星T4项目

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  • 出品日時:2021-08-09 16:27
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【概要の説明】

【专业洁净 选择美埃】美埃成功中标华星T4项目

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  7月26日,美埃凭借在洁净空气领域深耕多年的雄厚实力、过硬的专业技术以及优秀的服务口碑,从多家竞争企业中脱颖而出,成功中标武汉华星2021年T4化学过滤器采购项目,为中国电子行业的发展建设添砖加瓦。

  项目应用背景

  武汉华星光电技术有限公司,主要经营第6代低温多晶硅(LTPS)、氧化物(OXIDE)·液晶显示器(LCD)/有机发光二极管(AMOLED)显示面板等相关产业。武汉华星光电凭借在行业内的重要地位,在2020年9月10日,位列“2020中国制造业民营企业500强”第381位。

  武汉华星T4项目总投资350亿元,总建筑面积约40.39万平方米,为华星光电集团在中部地区打造电子洁净厂房标杆项目奠定坚实的基础。

  项目需求特点

  武汉华星光电T4项目,是国内第一条主攻折叠显示屏的6代柔性LTPS-AMOLED显示面板生产线,2020年初正式量产,使得武汉成为全国最大的新型显示产业基地。在此项目中,显示面板的生产环境对空气洁净度要求很是挑剔,对空气过滤设备、洁净无尘车间的要求也日渐苛刻。

  美埃提供专业解决方案

  美埃为武汉华星t4项目提供Puro-F化学过滤器。

  Puro-F系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它可以搭配自带风机过滤单元(FFU),提供良好的气态分子过滤,并且配合不同的滤材,去除酸、碱、有机物、硼、磷等,以达到控制气态分子污染物(AMC)目的,为洁净的室内空气把关,进而帮助改善和提升产品的良品率。

  Puro-F具有低初阻力、无递增压损、节省安装空间、装卸步骤简单,并可降低洁净室内的AMC浓度、发尘量少等特点,主要的应用在半导体的前段制程(AMC控制)以及后端封测等制程(腐蚀、污染与AMC控制)。

  物流发货运输

  目前,8月6日第一批过滤器已装车运输,8月8日已到达武汉华星T4项目工厂。

  美埃坚持以人为本,重视人才引进和人才培养,打造专业的产品研发队伍,并坚持质量为先,按照行业标准建立健全产品质量管理体系,产品全程可追溯,以真诚的服务受到客户认可,在业内颇受好评。目前,美埃已为电子行业的京东方、上海华力微电子、中芯国际、天马微电子等客户提供优质的服务,未来,美埃埃会继续在洁净空气领域深耕,持续创新,助力中国电子行业的发展!

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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