MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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废气治理之VOCs治理篇

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  • 出品日時:2019-10-08 09:54
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【概要の説明】当今整个地球大气污染问题突出,世界各地对于加强VOCs排放的控制,以及对VOCs处理技术的关注也日益提高。美埃始终钻研这一领域的技术开发与产品检验,我们坚定不移地将“推动净化产业发展,提升全球空气品质”作为使命。

废气治理之VOCs治理篇

【概要の説明】当今整个地球大气污染问题突出,世界各地对于加强VOCs排放的控制,以及对VOCs处理技术的关注也日益提高。美埃始终钻研这一领域的技术开发与产品检验,我们坚定不移地将“推动净化产业发展,提升全球空气品质”作为使命。

  • カテゴリ:应用案例
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  • 出品日時:2019-10-08 09:54
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当今整个地球大气污染问题突出,世界各地对于加强VOCs排放的控制,以及对VOCs处理技术的关注也日益提高。美埃始终钻研这一领域的技术开发与产品检验,我们坚定不移地将“推动净化产业发展,提升全球空气品质”作为使命。

VOCs治理系统篇

美埃针对挥发性有机污染物(VOCs)净化工程的设计、设备制造和工程安装,具有专业的研发团队和测试手段、精良的制造设备和检验工艺、以及安全的工程团队MayCare加持。

美埃(中国)环境科技股份有限公司

美埃有专业的GC-MS气相色谱-质谱联用仪、IC离子色谱仪和专业的化学吸附剂性能测试平台,可以对VOCs气体进行定性半定量分析,对酸性和碱性气体进行定性定量分析,为末端治理解决方案提供数据支撑。

美埃(中国)环境科技股份有限公司

GC-MS气相色谱-质谱联用仪

美埃(中国)环境科技股份有限公司

IC离子色谱仪

针对VOC气体,美埃提供了沸石转轮+高温氧化的治理工艺,VOC气体经过沸石转轮时,气流中的VOC被沸石吸附,随后洁净的空气通过转轮排放到大气中。在脱附区域内,浓缩在沸石转轮上的VOC被加热气流脱附,已脱附的转轮转回吸附区域,循环工作。已脱附的VOC会被输送到高温氧化系统,VOC将会被分解成H₂O和CO₂。系统中VOC燃烧产生的能量被用于脱附再生过程,从而减少所需能耗。

案例1、某外资锂电池生产企业

■ 锂电池生产过程中挥发出来的电解液,处理工艺为转轮加RTO。

美埃(中国)环境科技股份有限公司
美埃(中国)环境科技股份有限公司
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案例2、某塑胶(南京)有限公司

■ 美埃针对某塑胶的机器人涂装车间产生的有机废气,提供了转轮吸附浓缩+催化燃烧的VOC治理设备,处理效率达90%以上,检测结果符合江苏省地方标准《DB32/2862-2016 表面涂装(汽车制造业)挥发性有机物排放标准》。

美埃(中国)环境科技股份有限公司

 

 

 

美埃(中国)环境科技股份有限公司

 

 

MayCare是MayAir在中国大陆地区唯一的直属服务机构,唯一授权在中国大陆地区为“MayAir”品牌的空气过滤器、商用净化设备、医药净化设备、工业洁净室产品、工业除尘产品及化学过滤器等提供安装指导、开机调试、保修期内的服务、以及过保后的有偿售后服务,有偿服务具体包括:零配件销售、设备维护保养、设备维修、设备升级改造、设备延长保修等相关技术服务。

MayCare服务范围包含空气净化设备、排污除尘设备、新风设备、油雾净化设备、油烟净化设备、环保设备的安装以及相关技术服务。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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