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ＭayAir【美埃（中国）環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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废气治理之油雾净化系统

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  • 出品日時:2019-09-24 09:50
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【概要の説明】美埃于2015年正式开设工业除尘、除油雾、治理VOCs环境治理业务板块，与原有的进气系统业务领域“里应外合”，致力于打造完善、专业、系统的一体化空气解决方案。针对工业车间的粉尘、油烟和挥发性有机物等进行钻研与开发，业务领域涵盖了机械制造、化工、医疗、食品、汽车喷涂等行业，为保障各行各业的工艺制程保驾护航，为确保企业排放达标出谋划策。

废气治理之油雾净化系统

【概要の説明】美埃于2015年正式开设工业除尘、除油雾、治理VOCs环境治理业务板块，与原有的进气系统业务领域“里应外合”，致力于打造完善、专业、系统的一体化空气解决方案。针对工业车间的粉尘、油烟和挥发性有机物等进行钻研与开发，业务领域涵盖了机械制造、化工、医疗、食品、汽车喷涂等行业，为保障各行各业的工艺制程保驾护航，为确保企业排放达标出谋划策。

  • カテゴリ：应用案例
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  • 出品日時:2019-09-24 09:50
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美埃环境事业部

美埃于2015年正式开设工业除尘、除油雾、治理VOCs环境治理业务板块，与原有的进气系统业务领域“里应外合”，致力于打造完善、专业、系统的一体化空气解决方案。针对工业车间的粉尘、油烟和挥发性有机物等进行钻研与开发，业务领域涵盖了机械制造、化工、医疗、食品、汽车喷涂等行业，为保障各行各业的工艺制程保驾护航，为确保企业排放达标出谋划策。

工业除油雾净化系统篇

在金属加工的过程中，经常会使用到润滑液、冷却液、高压油等辅助生产，在这个过程中会产生油雾颗粒。人长期生存于油雾环境中，会对健康造成很大的危害。油雾长期积累在工人行走的地方，存在着安全隐患。另外，积累在敏感电子设备上时，可能会导致设备故障，影响生产。

美埃针对工业油雾有两种不同的治理技术。一种是利用高压静电技术，通过高压电离，使油雾颗粒荷电被收集在积尘板上。美埃静电除油雾净化器具有低阻力、低功耗、运行风量稳定、无需频繁更换耗材（选配过滤项除外）等优点，被广泛运用于工业除油雾治理系统中。

案例1：代傲同步技术制造（无锡）有限公司

美埃针对代傲切割机床切割打磨过程中产生的油雾，专门配置了高压静电除油雾净化器EAC-IE/SI，通过静电吸附的原理高效地去除代傲车间的油雾颗粒，运行功率低，无正常运行耗材，阻力低，大大降低系统风机能耗及噪音，有效地解决了切割打磨时产生的油雾，达到了国家大气污染物综合排放标准。

美埃（中国）环境科技股份有限公司

代傲同步技术制造（无锡）有限公司项目现场图

另外一种是利用离心技术收集油雾排出。含有油雾的空气经由美埃研制的离心式除油雾净化器EcoRiger吸入口吸入，围绕圆形预过滤器高速旋转，经预过滤网过滤，去除固体颗粒和大颗粒液滴，再由循环风机吸入，通过高速运转；利用离心力原理将液滴集中到集油槽后排出。同时经过油雾分离的空气再经过高效过滤器进一步过滤，最终排出洁净气体。

案例2：铁姆肯（无锡）轴承有限公司

美埃针对铁姆肯轴承加工工艺段产生的油雾，配置了百余台离心油雾净化装置，有效的解决车间磨削生产时的污染问题。

美埃（中国）环境科技股份有限公司
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铁姆肯（无锡）轴承有限公司项目现场图

案例3：阿特拉斯·科普柯（无锡）压缩机有限公司

美埃针对无锡阿特拉斯CNC机械加工中心产生的油雾，提供了离心式除油雾净化器，有效的解决了，油雾对车间的污染。设备配置自清洗系统，解决了前置过滤保养繁琐的问题。

美埃（中国）环境科技股份有限公司
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阿特拉斯·科普柯（无锡）压缩机有限公司项目现场图

美埃具备成熟项目操作经验，对于客户工况的判断已经形成系统的判定模式，结合美埃旗下工程项目品牌MayCare的专业施工，真正做到一体化“包满意”工程。

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過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0
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