MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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专家到访美埃科技,给予高度肯定

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  • 出品日時:2021-05-27 17:51
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【概要の説明】近年来,半导体及医疗生物安全大健康产业在中国获得了高速的增长,推动了空气净化细分领域市场的迅速发展,美埃(MayAir)作为中国本土品牌迅速崛起,现已成长为中国空气净化行业中的领先品牌,其发展受到行业专家的关注。2021年3月13日下午,中国制冷学会秘书长李晓虎、江苏省制冷学会秘书长黄浩良来到了美埃(中国)环境科技股份有限公司(以下简称美埃)进行调研考察,美埃总经理叶伟强等接待、介绍交流。

专家到访美埃科技,给予高度肯定

【概要の説明】近年来,半导体及医疗生物安全大健康产业在中国获得了高速的增长,推动了空气净化细分领域市场的迅速发展,美埃(MayAir)作为中国本土品牌迅速崛起,现已成长为中国空气净化行业中的领先品牌,其发展受到行业专家的关注。2021年3月13日下午,中国制冷学会秘书长李晓虎、江苏省制冷学会秘书长黄浩良来到了美埃(中国)环境科技股份有限公司(以下简称美埃)进行调研考察,美埃总经理叶伟强等接待、介绍交流。

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  近年来,半导体及医疗生物安全大健康产业在中国获得了高速的增长,推动了空气净化细分领域市场的迅速发展,美埃(MayAir)作为中国本土品牌迅速崛起,现已成长为中国空气净化行业中的领先品牌,其发展受到行业专家的关注。2021年3月13日下午,中国制冷学会秘书长李晓虎、江苏省制冷学会秘书长黄浩良来到了美埃(中国)环境科技股份有限公司(以下简称美埃)进行调研考察,美埃总经理叶伟强等接待、介绍交流。

 

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  李秘书长、黄秘书长一行先后参观了美埃公司产品展示厅、研发实验室及生产车间。叶伟强先生向专家介绍了美埃的发展历史、核心技术及应用行业。美埃成立于2001年,在南京设立4万平方米的研发制造中心,超过百名研发人员,拥有FFU(FAN FILTER UNITS)节能降噪和系统集成技术、超高效过滤技术、基于物理/化学吸附的活性炭吸附技术、催化氧化分解除VOCs技术、离子交换吸附技术、油雾离心分离技术、计算流体力学模拟(CFD仿真)技术等多项核心技术。该公司在中国和马来西亚共有6个生产基地。主要业务涵盖半导体洁净室净化、医疗健康、室内空气品质优化和环境排放治理等领域。专家对于美埃在半导体洁净室、医疗健康、商用人居、环境排放等应用领域取得的成绩给予了高度肯定。

 

  李秘书长、黄秘书长一行先后参观了美埃公司产品展示厅、研发实验室及生产车间。叶伟强先生向专家介绍了美埃的发展历史、核心技术及应用行业。美埃成立于2001年,在南京设立4万平方米的研发制造中心,超过百名研发人员,拥有FFU(FAN FILTER UNITS)节能降噪和系统集成技术、超高效过滤技术、基于物理/化学吸附的活性炭吸附技术、催化氧化分解除VOCs技术、离子交换吸附技术、油雾离心分离技术、计算流体力学模拟(CFD仿真)技术等多项核心技术。该公司在中国和马来西亚共有6个生产基地。主要业务涵盖半导体洁净室净化、医疗健康、室内空气品质优化和环境排放治理等领域。专家对于美埃在半导体洁净室、医疗健康、商用人居、环境排放等应用领域取得的成绩给予了高度肯定。

 

  学会专家重点考察了研发实验室。叶伟强先生介绍美埃一直大力投入建设研发实验室,目前实验室已取得CNAS认证。李秘书长高度赞扬了美埃坚持以科技为先导,以市场为导向,注重研发投入的举措。并对材料/零部件实验室、化学分析实验室、超洁净半导体微环境实验室、产品功能实验室、环境实验室、可靠性实验室、CFD仿真实验室逐个进行实地考察。

 

  学会专家重点考察了研发实验室。叶伟强先生介绍美埃一直大力投入建设研发实验室,目前实验室已取得CNAS认证。李秘书长高度赞扬了美埃坚持以科技为先导,以市场为导向,注重研发投入的举措。并对材料/零部件实验室、化学分析实验室、超洁净半导体微环境实验室、产品功能实验室、环境实验室、可靠性实验室、CFD仿真实验室逐个进行实地考察。

  学会专家还参观了美埃工厂生产车间,组装流水线。

 

  学会专家还参观了美埃工厂生产车间,组装流水线。

  参观后专家还与美埃进行了座谈交流,中国制冷学会秘书长李晓虎、江苏省制冷学会秘书长黄浩良对美埃公司科研创新表示了肯定,对美埃公司技术优先与质量并重的战略方向表示认可,对公司在行业引领与社会责任担当表示赞赏。李晓虎秘书长说“研发引领、创新驱动,把社会资源合理的应用到自己产品上,做资源整合。美埃从研发投入到生产制造等流程方方面面做的非常好,希望未来与美埃展开多方面的合作,共同挖掘更多应用需求,解决更多行业痛点”。

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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住所:〒550-0002 大阪市西区江戸堀1丁目9番1肥後橋センタービル6F

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