MayAir【美埃(中国)環境科技股份有限公司】の日本法人として、2020年設立された会社
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【CNAS认证】美埃通过中国合格评定国家认可委员会(CNAS)实验室认可

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  • 出品日時:2021-05-27 17:49
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【概要の説明】近日,美埃(中国)环境科技股份有限公司测试中心获得中国合格评定国家认可委员会(CNAS)授予的实验室认可证书,一举跻身国家认可实验室行列。

【CNAS认证】美埃通过中国合格评定国家认可委员会(CNAS)实验室认可

【概要の説明】近日,美埃(中国)环境科技股份有限公司测试中心获得中国合格评定国家认可委员会(CNAS)授予的实验室认可证书,一举跻身国家认可实验室行列。

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  近日,美埃(中国)环境科技股份有限公司测试中心获得中国合格评定国家认可委员会(CNAS)授予的实验室认可证书,一举跻身国家认可实验室行列。

  

【CNAS认证】

 

  2020年初,中国合格评定国家认可委员会委托专家评审组,对美埃(中国)环境科技股份有限公司进行现场评审。11月11日,美埃正式获得CNAS颁发的“实验室认可证书”,证书编号CNAS L13847。

  美埃(中国)环境科技股份有限公司测试中心

  

【CNAS认证】

 

  美埃在研发方面一直保持大力投入,研发测试能力始终位居行业前沿。公司投入近2000平方的研发测试空间,拥有近二十个行业的专业研发实验室,包括动态流体力学仿真实验室、纳米纤维实验室、颗粒物滤材实验室、气态污染物滤材实验室、分子筛/催化剂实验室、空气净化设备实验室、空气过滤器实验室、风洞实验室、噪音实验室、环境实验室、可靠性实验室、衡量气体分析实验室、高效过滤器全自动激光扫描检漏实验室等。所有实验室均符合ISO、中国GB、欧盟EN、美国ASHRAE等国内外领先的专业标准。其中纳米纤维实验室、气态污染物滤材实验室、分子筛/催化剂实验室、CFD仿真实验室,专业度属于国内较高水平。

  该证书的取得标志着美埃具备了国家认可的水平和的能力,在今后的发展中,美埃将集合各类资源优势,为客户提供更加先进的实验、检测服务,为净化行业的进步贡献力量!

丨関連情報

美埃は、半導体空気清浄の分野に焦点を当て、ハイレベルの清浄度の実現へ

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過去50年間に、集積回路のコアテクノロジーは1971年の10マイクロメートル(μm)から現在の7ナノメートル(nm)に大幅に縮小し、さらに3nmノードにまで実現する可能性もあります。半導体ウェーハの重要な寸法は徐々に小型化されるにつれ、クリーンルーム環境の清浄度に対する要求も厳しくなっています。ガス状分子汚染物質(AMC)は、工業プロセスの生産性に影響を与える要因の1つとして、粒子状汚染物質に徐々に取って代わっています。 AMCは、多くの潜在的なプロセス上の問題を引き起こすおそれがあります。たとえば、酸性ガス(MA)は、腐食性があるので、ウェーハ上の金属膜を侵食し、ピット、オープンライン、短絡、漏電などを引き起こします。そして、アルカリガス(MB)としてのアンモニアガスはリソグラフィパターン欠陥、及び フォトレジストラインの上部にTトッピングになることを招きます。凝縮性有機ガス(MC)がシリコンウェーハの表面に付着しがちになり、薄膜と表面分子汚染(SMC)を形成させ、フォトレジスト層、スパッタ層、PVD層またはCVD層にはサンドイッチ構造を形成させます。 さらに、シリコン、リン、ホウ素などを含む揮発性VOC(シロキサン、有機リン酸塩など)は、シリコンウェーハの表面、リソグラフィーレンズまたはリソグラフィープレートにしっかりと吸着されたら、それを除去することが困難になる、又はまったく除去できないので、リソグラフィーエンジニアによって処理困難の難治性化合物(refractory compound)と呼ばれています。 有機リン酸塩などのドーピングガス(MD)は、シリコンウェーハの表面に吸着され、加熱後、無機リン酸塩に分解されてドーパントに生成され、望ましくないn型ドーピングと電圧ドリフトをよく引き起こします。 半導体の製造工程には精密なマイクロエレクトロニクスシステムやICが含まれており、製造環境の清浄度に対する要求は特に厳しいので、製造工程全体は厳密に管理された環境条件、つまりクリーンルームの中に行われています。 クリーンルームの清浄度を維持するために、半導体クリーンワークショップでは通常、垂直・単一方向フロー方式を利用して、押し出し作用によって汚染された空気を室外に排出することで、室内空気を浄化することができます。 クリーンルームの空気清浄は、主に以下の3つの段階に分けられます。最初の段階では空調ボックス内のプレフィルター、ジュニア効率フィルター、シニア効率フィルター、薬剤フィルターを介して、屋外からの空気を段階的にろ過し、異物、浮遊物、直径0.3μmを超える粒子、および大気中の化学汚染物質を段階的に除去しています。 第二段階では、ファンフィルターユニットと、内蔵式(または外付け)のシニア効率、超シニア効率フィルター、および薬剤フィルター(プロセス上必要な場合)を介して、クリーンルーにに安定した空気層流を押し出し、クリーンルームの空気を極めて高い清浄度基準に浄化します。 第三段階では、クリーンルームの還気は、上げ床と給気ダクト(または還気管)を通ってファンフィルターユニットに送られ、シニア効率、超シニア効率フィルター、薬剤フィルターで濾過されて、リサイクルのためにクリーンルームに送られます。 MayAir半導体クリーンワークショップの主な構造と主な製品の運用プロセスの概略図は次のとおりです。 外気は、多段式エアフィルター(No.1〜4)で段階的にろ過された後、クリーンルームの内部循環系に入ります。 その後、シニア効率・超シニア効率フィルターとオプションの薬剤フィルター(No.5、6、7)を備えたファンフィルターユニットを介して、安定した層流でクリーンルーム内に清浄な空気を送ります。ファンフィルターユニットの中断しない動作によって作業エリアの清浄度を維持します。 特定の機器又は清浄度要求が比較的に高い作業エリアでは、浄化ブースとEFU(No.8、9)の組み合わせによりクリーンルーム内の空気をさらに浄化し、より高いレベルの局所清浄度を実現します。 MayAirは2005年に成都smicsの独自ブランドのFFU注文を初めて受けて以来、中国の半導体産業の発展を何度も支援しており、ハイエンドのクリーンルームの分野で重要な位置を占めています。
Date : 2021-07-22 点击 : 0

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